解决方案
Solution
电子 / 芯片行业
核心需求
芯片洁净车间高洁净度保障、电子元件生产温湿度精准控制、静电防护、有害工艺气体处理。
专属技术适配
• 洁净车间通风与洁净度控制：芯片洁净车间采用“层流送风 + 高效空气过滤” 系统，百级车间送风风速≥0.45m/s，空气洁净度≤3520 粒 /m³；通过压差传感器维持洁净区与非洁净区正压，防止外部污染空气渗入；通风系统风机采用无油轴承设计，避免油污污染空气。
• 温湿度与静电精准调控：电子元件贴片车间温度控制在23±1℃、湿度 45%-55%，通过温湿度传感器实时反馈，中央控制系统自动调节新风量与回风比例，确保参数波动≤±0.5℃/±3%；通风管道与设备接地处理，送风气流稳定，避免静电产生损坏电子元件。
• 工艺气体处理：光刻车间、蚀刻车间配置专用排风系统，针对光刻胶挥发物、氟化物等有害气体，采用“化学吸附 + 高效过滤” 处理，排出气体经检测达标后排放；每个工艺设备独立排风支管，支管设置电动风阀，设备停机时自动关闭风阀，减少能耗。
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